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高端智能制造设备“低温真空泵”亮相2019世界制造业大会

2020-04-06 05:36来源:网络整理浏览:

  高端智能制造设备“低温真空泵”亮相2019世界制造业大会

  庆祝中华人民共和国成立70周年之际,2019世界制造业大会在合肥隆重开幕。大会以“创新创业创造 迈向制造业新时代”为主题,突出“国家级”“世界性”“制造业”三大特色,打造高质量发展促进平台、高端化开放合作平台、高层次专业交流平台。聚焦推进制造强国建设和全球智能制造发展前沿趋势、关键技术、实践成果,重点展示智能制造技术与产品。

高端智能制造设备“低温真空泵”亮相2019世界制造业大会

  在这次2019世界制造业大会上,中电博微电子科技有限公司下属安徽万瑞冷电科技有限公司高端制造展区的中国电科展台展示了一款智能型低温真空泵产品,是一种利用低温冷凝和吸附原理实现抽气的超高真空获得设备,具备洁净无油、抽气速率大、极限真空度高、智能化控制、稳定可靠、节能环保等众多优点,是集成电路等高端制造PVD成膜和离子注入等核心工艺过程的关键设备。

高端智能制造设备“低温真空泵”亮相2019世界制造业大会

高端智能制造设备“低温真空泵”亮相2019世界制造业大会

  安徽万瑞冷电科技有限公司始终坚持技术创新,2014年至2018年期间承担完成了科技部02专项国产集成电路装备零部件量产应用工程的低温真空泵项目,通过持续的技术研发、技术攻关和大量的半导体工艺验证,突破了诸多核心关键技术,开发出针对集成电路、半导体等高端产业应用的集成智能控制系统的一拖多低温真空泵组,产品整体技术状态达到国外同类产品先进水平,打破国外垄断,实现了自主可控和国产化替代,在集成电路制造工艺装备上得以应用。另外,该产品在半导体、面板显示、LED、太阳能电池板、光电器件和真空器件等制造行业,以及航空航天、大科学工程装置上都有大量应用需求,将重点服务中国高端制造和国家重大科技工程装置

  这次制造业大会展示的智能型低温真空泵产品,吸引了包括政府领导、工商企业、用户单位、专家学者、新闻媒体和合肥市民等众多参会人员的目光,纷纷安徽万瑞冷电科技有限公司的高技术产品点赞。

  安徽万瑞冷电科技有限公司作为中国集成电路零部件产业技术创新联盟理事单位,致力于为中国集成电路制造核心装备PVD和离子注入机提供关键的低温真空泵设备,在制造业大会期间还参加了集成电路产业高峰论坛。

高端智能制造设备“低温真空泵”亮相2019世界制造业大会

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